一、特點：
1. 大幅度提高了驅(qū)動速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測量時間；
2. 為了在一定時段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格，三豐公司采用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導軌；
3. 大量的外圍設備選件支持CNC模式，從而可以很容易實現(xiàn)CNC測量；
4. 驅(qū)動裝置（X軸）和立拄（Z2軸）中集成了高精度線性編器（Z2軸為ABS型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動測量小孔和不易定位工件的重復精度；
5. X軸精度：±（0.8+0.01L）μm，Z1軸精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm*，針對高精度工件的測量所設計；
6. *CV-4100S4、H4、W4型，L為驅(qū)動長度，H為測量高度（mm）
7. CV-4100系列的驅(qū)動裝置集成了Laser Hologage檢位器，在Z軸（垂直方向）的窄/寬測量范圍內(nèi)，提供的精度和分辨率。
二、規(guī)格參數(shù)：
A. X軸
1. 測量范圍：100mm或200mm
2. 分辨率：0.05μm
3. 檢測方法：反射型線性編碼器
4. 驅(qū)動速度：80mm/s和手動
5. 測量速度：0.02～5mm/s
6. 移動方向：向前/向后
7. 直線度：0.8μm/100mm，2μm/200mm
8. *當X軸在水平方向上
9. 20℃時指示精度（L為驅(qū)動長度，單位mm）：
±（1+0.01L）μm（CV-3100S4、H4、W4）
±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4、H4、W4）
±（1+0.02L）μm（CV-3100S8、H8、W8）
±（0.8+0.02L）μm（CV-4100S8、H8、W8）
10. 傾斜范圍：±45°
B. Z2軸（立柱）
1. 垂直行程：300mm或500mm
2. 分辨率：1μm
3. 檢測方法：ABSOLUTE線性編碼器
4. 驅(qū)動速度：0～20mm/s和手動
C. Z1軸（檢測器）
1. 測量范圍：±25mm
2. 分辨率：0.2μm（CV-3100）；0.05μm（CV-4100）
3. 檢測方法：線性編碼器（CV-3100）；激光全息測微計（CV-4100）
4. 20℃時指示精度（H為水平位置上的測量高度，單位mm））：
±（2+|4H|/100）μm（CV-3100）
±（0.8+|2H|/100）μm（CV-4100）
5. 測針上/下運作：弧形運動
6. 測針方向：向上/向下
7. 測力：30mN
8. 跟蹤角度：向上：77°、向下：87°（根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面測針）
D. 測針針尖：半徑：25μm、硬質(zhì)合金針尖
E. 基座尺寸：W750×H600mm或W1000×H450mm
F. 基座材料：花崗巖
G. 重量：主機：140Kg（S4）、150Kg（H4）、155Kg（W4）、145Kg（S8）、155Kg（H8）、160Kg（W8）
H. 控制裝置：14Kg
I. 遙控箱：0.9Kg
J. 電源：100-240VAC±10% 50/60Hz
K. 能耗：400W（主機）
